選擇好的行星減速器材料有利于提*齒輪減速器的承載力和使用壽命。硬齒面齒輪應廣泛應用于精密行星減速器的結構特性和齒輪的載荷性能。硬齒面齒輪的熱處理方法有很多。如表面淬火、整體淬火、碳淬火、氮滲流等，應根據齒輪減速器的特點進行選擇。
1.表面淬火。
常用的表面淬火方法有*頻淬火頻淬火(*齒輪)和火焰淬火(*齒輪)。表面淬火的淬火層包括齒根底部，效果*好。齒面硬度可達45-55HRC。
精密行星減速器。
2.滲氮。
滲氮可保證齒輪在變形**的條件下達到較*的齒面硬度和耐磨性，熱處理后不再進行*佳精加工，提*承載能力。
3.滲碳淬火。
碳淬火齒輪承載能力較*，但必須采用精加工工藝(磨齒)來消除熱處理變形，以保證精度。
滲碳淬火齒輪常用的合金鋼，滲碳前碳分數為0.2%-0.3%，其齒面硬度通常在58-62HRC范圍內。如果低于57HRC，硬面強度顯著降低，如果*于62HR，脆性會增加。從齒輪表面到深度，滲碳淬火齒輪的硬度逐漸降低，有效滲碳深度規定為5.25HRC表面的深度。
除了提*心臟硬度外，滲碳淬火在齒輪彎曲疲勞強度中的作用還在于表面的殘余壓應力。它可以降低**壓應力區域的應力，因此磨齒時不能磨根。